| 模擬微型探頭 | ||
| 度量 | 調幅/0.25/秒 | |
| 機械行程 （毫米） | 0.63 （最大值） | |
| 測量量程（毫米）： | ± 0.25 | |
| 測量量程開始 | 距限制器20-30微米 | |
| 線性（%滿程輸出） | 1.0 | |
| 重復性（使用標準探頭） | 位于軸上 | 與軸交叉 |
| 距限制器100微米 | 0.10微米 | 0.10微米 |
| 距限制器250微米 | 0.25微米 | 0.15微米 |
| 距限制器500微米 | 0.50微米 | 0.25微米 |
| 分辨率 | 取決于所使用的信號條件 | |
| 觸點力 (N)： | 0.7 ± 25%（位于測量量程的中心） | |
| 溫度系數(shù) | 0.08微米/°C | |
| 機械 | ||
| 質量 （克） | 15.0 | |
| 材料（微型探頭骨架） | 鉻鋼 | |
| 保護罩 | 氟橡膠? | |
| 支架 | 1 x M3螺絲（已提供） | |
| 環(huán)境 | ||
| 儲存溫度（°C） | -20 至 +85 | |
| 操作溫度（°C） | 0 至 +60 | |
| IP保護等級 | IP 65 | |
| 電子 | ||
| 激勵電壓 | 3 Vrms | |
| 激勵電流 | 2.5 mA/V | |
| 靈敏度 | 75.8 mV/V/mm (+ 0.5%) | |
| 相位角 | 13度 | |
| 直徑 3.00 毫米球形 |
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| R12.70 毫米球形 |
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